用阻抗剖析仪可以评定压电陶瓷片、压电超声波换能器-、整个振动零碎（超声波换能器加上变幅杆、模具）等各种器件设备的功能优劣。用阻抗剖析仪剖析超声器件设备，最重要的几个参数如下：
1. Fs：机械谐振频率，即振动零碎的任务频率、设计中应尽能够接近希冀值。
关于清洗机，振子的谐振频率分歧性越高越好。
关于塑焊机或超声加工，变幅杆或超声波模具设计不合理的状况下，振子的谐振频率会偏离任务点。
2. Gmax：谐振时的电导，振动零碎任务时的电导值，它是静态电阻的倒数。在相反的支撑条件下越大越好，Gmax＝1／R1。普通关于清洗或焊接振子来讲，普通在50ms～500ms之间。假如太小的话，普通来讲，振子或振动零碎任务会有成绩，如电路不婚配或转换效率低、振子寿命短。
3. C0：超声波换能器压电器件等效电路中静态支路的电容量，C0＝CT－C1（其中：CT为1kHz下的自在电容，C1为压电器件等效电路中静态支路的电容量）。运用时要以电感对C0停止均衡。
在清洗机或超声加工机器的电路设计中，正确地均衡C0可以进步电源的功率要素，运用电感均衡有两种办法，并联调和谐串联调谐。
4. 超声波换能器机械质量要素，以电导曲线法确定，Qm＝Fs／（F2－F1），Qm越高越好，由于越高，振子的效率越高；但必需与电源婚配，Qm值太高时，电源无法婚配。
关于清洗振子来讲，值越高越好，普通来讲，清洗振子的Qm要到达500以上，太低的话，振子效率低。
关于超声波换能器超声加工来讲，振子自身的Qm值普通在500左右，加上变幅杆之后，普通到达1000左右，再加上模具，普通到达1500～3000。太低的话，振动效率低，但是不能太高，由于Qm越高，任务带宽越窄，电源难以婚配，电源难以任务在谐振频率点，设备无法任务。
5. F2，F1：振子半功率点频率，关于超声加工的整个振动零碎（包括变幅杆和模具）来讲，F2－F1要大于10Hz, 否则频带太窄，电源难以任务在谐振频率点，设备无法任务。 F2－F1与Qm值间接相关，Qm＝Fs／（F2－F1）。
6. Fp：反谐振频率，压电振子并联支路的谐振频率，在这个频率下，压电振子的阻抗最大。
7. Zmax：反谐振阻抗，正常的状况下，一个超声波换能器的反谐振阻抗都在几十千欧姆以上，假如反谐振阻抗比拟低，往往振子的寿命比拟短。
8. CT：超声波换能器自在电容，压电器件在1kHz频率下的电容值，此值和数字电容表测得的值是分歧的。这个值减掉静态电容C1就可以失掉真正的静电容C0，C0需求用外接电感均衡，C1在零碎任务的时分参与能量转换，不用均衡。
9. R1：静态电阻，压电振子串联支路的电阻，在相反的支撑条件下越小越好。关于清洗或焊接振子来讲，假如R1太大的话，阐明振子有成绩。
10. Keff：无效机电耦合系数，普通来讲，Keff越高，阐明转换效率越高
